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第一百七十六章:国产DUV光源(2/5)

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李由这一队坐在一旁的电脑工作台上手指飞舞调整参数,张岩泰则带着自己这一队在光刻机的激光调整、能量控制器这些地方进行调整。

虽然光源设备是适配这个光刻机的,但是有很多小问题是需要处理的,不然别说芯片造不出来,光刻机损坏都是很正常的。

工作了大半天后,李由与张岩泰一起审查了一遍,这才对着房间内的摄像头比了个OK的手势。

“赵教授,实验就要开始了。”顾青提醒道。

赵兴夏点了点头。

不论是近紫外(NUV)激光还是深紫外(DUV)激光,又或者最高端的极紫外光EUV。

它们都有个紫字,并非是很深奥的问题,因为这几个光源都是名副其实的紫色光源。

九州科技半导体部门研发的稳态微聚束的SS1MB光源,为这个分辨率90nm的S1A600/20光刻机的适配光源设备是DUV深紫外光。

光源设备运行,激光器发射出来的深紫外光

经过矫正后,进入能量控制器、光束成型装置等设备,再进入光掩膜台。

光掩膜台上面放的测试用的光掩膜,之后经过物镜投射到曝光台。

曝光台上放置着一张8英寸晶圆片,上面涂抹了光刻胶。

半个小时后……当然芯片不是这么一点时间就可以做出来的,但是其工作状态和试运行成果却是能判断的。

“这,这,这……”

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