第一百七十六章：国产DUV光源（2/5）

李由这一队坐在一旁的电脑工作台上手指飞舞调整参数，张岩泰则带着自己这一队在光刻机的激光调整、能量控制器这些地方进行调整。

虽然光源设备是适配这个光刻机的，但是有很多小问题是需要处理的，不然别说芯片造不出来，光刻机损坏都是很正常的。

工作了大半天后，李由与张岩泰一起审查了一遍，这才对着房间内的摄像头比了个OK的手势。

“赵教授，实验就要开始了。”顾青提醒道。

赵兴夏点了点头。

不论是近紫外（NUV）激光还是深紫外（DUV）激光，又或者最高端的极紫外光EUV。

它们都有个紫字，并非是很深奥的问题，因为这几个光源都是名副其实的紫色光源。

九州科技半导体部门研发的稳态微聚束的SS1MB光源，为这个分辨率90nm的S1A600/20光刻机的适配光源设备是DUV深紫外光。

光源设备运行，激光器发射出来的深紫外光

经过矫正后，进入能量控制器、光束成型装置等设备，再进入光掩膜台。

光掩膜台上面放的测试用的光掩膜，之后经过物镜投射到曝光台。

曝光台上放置着一张8英寸晶圆片，上面涂抹了光刻胶。

半个小时后……当然芯片不是这么一点时间就可以做出来的，但是其工作状态和试运行成果却是能判断的。

“这，这，这……”