第一百七十六章：国产DUV光源（1/5）

因为激光器安装运行需要的环境很苛刻，所以都是整合成为了一个部件。

而之前走南闯北，李由等人也将目前大夏主流的几个光刻机看了个遍，摸了个遍，早已是胸有成竹。

经历过人情冷暖的中年人可不像涉世未深的小年轻，不会轻易因为他人不理解产生的质疑而愤怒。

用产品打脸才是最让他们暗爽的事。

“既然贵司准备好了适配，我们实验室有这个型号的机器，就让我们拭目以待吧。”

赵兴夏接着又补了一句：“先签个合同，以免实验过程中出现意外，造成大家不必要的损失，没问题吧？”

“自无不可。”

顾青笑着答应了下来，他当然是理解对方的。

光刻机虽然没有某些跑车贵，但却比跑车难造，弄坏一台都是血亏。

他们半导体部门的队伍去其他厂家调整适配光源设备的时候都是交了一笔试验费用和保证金的。

甚至法务部都做了几份相关合同模板出来。

签了合同，赵兴夏才带着顾青一行人走到另一个研究室。

对于已经建好的光刻机工作间，每一次实验都是非常昂贵的。

穿上堪比防护服的白色工作服，李由等人带着数个光源设备部件进入了光刻机的超洁净工作间。

赵兴夏看着这几人很是熟练的打开光刻机系统，将光源设备更换后，又很熟练的分成两队。